IGBT探针台技术改造

双面点针探针台可用于晶圆和PCB板测试，用于需要正面和背面同时扎针，以实现各种光/电性能测试需求。该定制探针台具有优良的机械系统，稳定的结构，符合人体工程学，以及多项升级功能。可广泛应用于集成电路、Wafer，LED、LCD、太阳能电。产品优势：可同时完成DC和RF测试大手柄双驱动，省时，省力，省心双光路系统，上光路可升级加载光电流系统。芯片内部线路/pad/电级的IV/CV测试l材料/器件的IV/CV性能测试及FAl芯片/面板内部线路修改/去层（介质绝缘层/钝化层l可对金属线路层激光断线或开路进行熔接l激光可选择性去除特定材料而不损伤下层或基底l激光**小加工精度1*1μml芯片研发流片验证+失效分析**l激光打标LaserMarklLasercut、Laserweld、Laserrepaill超快短脉冲激光精细微加工修复系统探针台的探针的清洗。IGBT探针台技术改造

探针测试台x-y工作台的分类纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异，即主要由x-y向工作台，可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成，并配有与测试仪（TESTER）相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类，即：以美国EG公司为**的平面电机型x-y工作台（又叫磁性气浮工作台）自动探针测试台和以日本及欧洲国家生产的采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大，所以其使用维护保养不可一概而论，应区别对待。江苏mini led探针台按照操作方式来划分成：手动探针台、半自动探针台、全自动探针台。

    平面电机x-y步进工作台的维护与保养，平面电机由定子和动子组成，它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开，定子是基础平台，动子和定子间有一层气垫，动子浮于气垫上，而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台，由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损，使用寿命长。由于平面电机的定子及动子是完全暴露在空气中，所以潮湿的环境及长时期保养不当将很容易使定子发生锈蚀现象，另外重物的碰撞及坚锐器物的划伤都将对定子造成损伤，而影响平面电机的步进精度及使用寿命，对于已生锈的定子可以用天然油石轻轻地向一个方向打磨定子的表面，然后用脱脂棉球蘸煤油清洗，整个过程操作要十分地细心，不可使定子表面出现凹凸不平的现象。另外也可用没有腐蚀性，不损坏定子的除锈剂除锈。对于正常情况下的定子则要定期作除尘清理工作，清理时应先通入大气以便动子移动，方法是用脱脂棉蘸少许大于95%的无水乙醇，轻擦定子表面，然后用**工具撬起动子，方法同前，轻擦动子表面，动子的表面有若干个气孔，它是定子和动子间压缩空气的出孔，观察这此气孔的放气是否均匀，否则用工具小心旋开小孔中内嵌气孔螺母检查是否有杂质堵塞气孔。

自动探针台是一款适合6寸、8寸、12寸晶圆的量产型全自动晶圆探针台，通过使探针卡与晶圆Pad点之间精细接触，实现完成晶圆WAT/CP测试，该设备操作简单并具有良好的机械稳定性，能为客户提供一个具有成本优势且高产量的晶圆测试解决方案，满足晶圆厂、封测厂、测试厂等不同客户的测试需求。经过不断的技术迭代更新，A系列全自动探针台已拥有同步国外的先进技术：低噪声、快速移动、高产能、采用缺口和晶圆ID同步识别，减少了晶圆的加载时间；低重心设计，支持高针数探针卡，探针台如何来工作呢？

探针测试台x-y工作台滚珠丝杠副和导轨结构x-y工作台的维护与保养相对于平面电机工作台，丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂，工作台由上层（x向）及下层（y向）两部分组成。工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动，导向部分采用精密直线滚动导轨。由于运动部分全部采用滚动功能部件，所以具有传动效率高、摩擦力矩小，使用寿命长等特点。这种结构的工作台应放置在温度23±3 ℃，湿度≤70%，无有害气体的环境中，滚珠丝杠、直线导轨应定期加精密仪表油，但不可过多，值得指出的是，这种结构的工作台在装配过程中，从直线导轨的直线性，上下层工作台之间的垂直度以及工作台的重复性，定位精度等都是用专业的仪器仪表调整，用户一般情况不能轻易改变，一旦盲目调整后很难恢复到原来的状态，所以对需要调整的工作台应有专业生产厂家或经过培训的专业人员完成。探针台广泛应用于科研单位研发测试、院校教学操作、企业实验室芯片失效分析等领域。RF探针台调试

探针台采用高刚性显微镜龙门设计。IGBT探针台技术改造

探针台-高低温真空光电测试系统功能：用于测试半导体器件，材料，发光器件等综合性能表征系统，可测试参数包括：暗电流、光电流、光电压（光伏器件）、响应速度、光谱响应、变光强的R~P响应等。系统由光源、探针台和光电测试三部分组成，根据用户需求，三大部分可以进行定制化开发，以实现不同光谱覆盖范围、不同测试环境和不同测试功能的实现。探针台可选项： 低温/常温/高温、有背栅/无背栅、光纤导入/无光纤、有磁场/无磁场、真空/非真空 等。IGBT探针台技术改造

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