【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之划痕（膜伤）】： 划痕是指膜面内外有道子，膜内的称划痕，膜外的称膜伤。这也是镀膜品质改善中的一个顽症，虽然很清楚产生的原因和改善方法，但难以。 产生原因： 膜内划痕： 1. 前工程外观不良残留。 2. 各操作过程中的作业过水造成镜片划痕 3. 镜片摆放太密，搬运过程中造成互相磕碰 4. 镜片的摆放器具...

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之破边、炸裂】： 一般的镀膜会对基片加热，由于基片是装架在金属圈、碟内，由于镜圈或碟片与镜片（基片）的热膨胀系数不一致，冷却过程中会造成镜片的破便或炸裂。 有些大镜片，由于出罩时的温度较高，与室温的温差较大，镜片的热应力作用造成镜片炸裂或破边。有些零件边缘倒边的形状容易造成卡圈而破边。 改善对策： 1....

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之膜内白雾】： 白雾形成在膜内，无法用擦拭方法去除。 可能成因： 1. 基片脏 2. 镜片表面腐蚀污染 3. 膜料与膜料之间、膜料与基片之间的匹配 4. 氧化物充氧不够 5. 第yi层氧化锆膜料，可能对某些基片产生白晕现象 6. 基片进罩前（洗净后）受潮气污染 7. 洗净或擦拭不良，洗净痕迹，擦拭痕迹 ...

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之膜色差异】：膜色差异有两种（不含色斑），一种时整罩上、中、下膜色不一致，即分光测试曲线有差异；二是单片膜色不一致。改善对策：1.调整修正版，尽量考虑高低折射率膜料的平衡兼容，如果有两个蒸发源，可能的条件下，独li使用各自的修正板，避免干扰。2.条件许可，采用行星夹具。3.伞片整形。4.加强伞片管理。5...

【光谱分光不良的补救（补色）之机器故障和人为中断】： 分光不良分为二种情况：一是全部膜系镀制完成后，经测试分光不良，此类不良主要按六节所述方法处理，一般减反膜难以补救。但对于高反膜、带通滤光膜等可以通过加层的方法补救。二是镀制中途中断（包括发现错误中断）造成的分光不良，一般都可以通过后续努力补救。后续方法正确，补救成功率比较高。 中断的原...

【真空镀膜设备捡漏方法】:检漏方法很多，根据被检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法。充压检漏法：在被检件内部充入一定压力的示漏物质，如果被检件上有漏孔，示漏物质便从漏孔漏出，用一定的方法或仪器在被检件外部检测出从漏孔漏出的示漏物质，从而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小，此即充压检漏法。真空检漏法：被检件和检漏...

直流电源电压纹波做了二次滤波处理，高压输出的纹波小于50mV，离子源束流的稳定性和重复性较好，镀膜的产品的折射率更稳定。国泰真空射频离子源采用通用的LC高频谐振原理，使用可调电容快速调谐，使整个负载阻抗匹配到50Ώ，从而使功率输出比较大，电离化效率比较高，调谐马达采用步进电机转位+编码器快速定位，并带锁止和记忆功能，以满足负载在不同的真空...

看冷却水循环系统。真空镀膜机需要配置冷却水循环系统，冷却水用去离子水的效果更佳，对于防腐蚀也起到很大的作用，对于一些容易生锈的部件还会有很好的抑制作用。如果在去离子水中适量的加入一些防腐剂也可以起到防腐蚀的作用。现在有很多的真空镀膜机都是采用全自动控制的方式。虽然说是全自动控制，但是各种区别还是很大的，其中有很多还处在半自动的状态。能够实...

【真空镀膜设备捡漏需注意】真空镀膜设备检漏是保证真空镀膜设备真空度的一项检查措施，简称检漏，真空度的高低是直接影响到镀膜效果的，所以检漏是必不可少的。一、要确认漏气到底的虚漏还是实漏。因为工件材料加热后都会在不同程度上产生气体，有可能误以为是从外部流进的气体，这就是虚漏，要排除这种情况。二、测试好真空室的气体密封性能。确保气密性能符合要求...

【离子镀膜法之射频离子镀】： 射频离子镀(RFIP):利用电阻或电子束加热使膜材气化；依靠射频等离子体放电使充入的真空Ar及其它惰性气体、反应气体氧气、氮气、乙炔等离化。这种方法的特点是：基板温升小，不纯气体少，成膜好，适合镀化合物膜，但匹配较困难。可应用于镀光学器件、半导体器件、装饰品、汽车零件等。射频离子镀膜设备对周遭环境没有不利影响...

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之膜外色斑】： 色斑（也称膜色亚克、烧蚀）是指镜片上的膜色局部变异。有膜内色斑和膜外色斑二种。 膜外色斑改善对策： 1. 对减反膜，设计条件许可时，外层加以SiO2层，10nm左右即可（一般的外层膜是MgF2）。使外层趋于光滑、致密、减少有害物质的侵蚀。 2. 适当降低蒸镀速率（在一定范围内），提高膜层...

【光谱分光不良的补救（补色）之停电】： 分光不良分为二种情况：一是全部膜系镀制完成后，经测试分光不良，此类不良主要按六节所述方法处理，一般减反膜难以补救。但对于高反膜、带通滤光膜等可以通过加层的方法补救。二是镀制中途中断（包括发现错误中断）造成的分光不良，一般都可以通过后续努力补救。后续方法正确，补救成功率比较高。 中断的原因形式之停电：...